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HMDS預處理真空干燥箱,又稱TDM系列真空鍍膜干燥箱,是一種專用于半導體、光電、微電子等領域中光刻前處理工藝的專用設備。其主要功能是在真空環境下將六甲基二硅氮烷(HMDS, Hexamethyldisilazane)以蒸汽形式沉積于基材表面,從而改善基材表面親水性,提高光刻膠與基底的附著力,確保后續微圖形工藝的質量與穩定性,喆圖預處理真空干燥箱適用于 1-12 英寸半導體晶圓(硅基、碳化硅、氮化
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